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可编程精密匀胶机HC220PE长显超声

来源:EL冷光片_冷光片技术培训_冷光片原材料北京京显 | 发布时间:2024/5/22 | 浏览次数：

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可编程精密匀胶机HC220PE
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产品介绍：
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名称：可编程精密匀胶机HC220PE
型号：HC220PE
应用：HC220PE可编程精密匀胶机，采用高精度工业伺服电机，配置8英寸人机界面，清晰的编程程序界面设置，易学易用。适合半导体行业及科研院所，实验室级的研究开发。适合8英寸及以下尺寸晶元旋涂，是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
产品概述：
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HC220PE可编程精密匀胶机，采用高级PLC
模块，工业级伺服电机，全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
设备采用工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
性能参数：
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l 旋涂程序：采用与track设备类似的程序与设计，最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒；
l 电机速度：0-10,000rpm；
l 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）；
l 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm；
l 转速调节精度<1rpm；
l 重复性< 1rpm；
l 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step；
l 时间设置精度：0.1sec；
l 支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圆晶）；
l 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）；
产品特点：
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l 用高级PLC模块，工业级伺服电机；
l 8英寸彩色触屏控制，人机界面；
l HDPE高分子内腔，耐腐蚀，易清洁，带排废功能；
l内腔壁采用独特的凹面设计，有效防溅；
l可编程写和存储100组程序，每组100步；
l带真空度安全互锁检测功能；
l带盖子安全互锁检测功能；
l带排废接口；
l具有电机进胶保护功能；
l管路易疏通设计；
l具有真空不足提示及保护功能，具有断电后参数自动保存功能；
l正、反转旋涂方向可自由切换；
l旋涂参数可设置循环执行；
l速度-时间曲线实时显示；
l配置四个自动点胶接口，可升级多路自动点胶系统；
l可设置用户密码保护功能；
l配置可调基座，方便调节水平；
不同尺寸的载物盘
产品外型尺寸：
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)
咨询或索取详细产品资料，请联系ANALYSIS（苏州长显）工作人员。
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