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北京京显科技有限公司
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电话:18900616086
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SC200-DE匀胶显影机长显超声
来源:EL冷光片_冷光片技术培训_冷光片原材料北京京显 | 发布时间:2024/5/22 | 浏览次数:
尺寸:
价格:
无损检测系统
美国工业水浸超声C扫描系统
微焦点X射线及工业CT系统
超声波扫描显微镜
声发射系统
光弹系数测试仪
半导体前处理
匀胶机/旋涂仪
烤胶机/热板
无油真空泵
载物盘/真空吸盘
点胶系统
精密实验炉设备
箱式马弗炉
管式炉气氛炉/真空炉
干燥箱/空气循环炉
进口离心机
微量离心机
通用离心机
大容量离心机
:
@ www.omegawave.com.cn
企業網址:
www. www.omegawave.com.cn
www.mappingLab.com.cn
SC200-DE匀胶显影机
当前位置:首页> www.keyeye.online
产品介绍:
---------------------------------------------------------------------
名 称:匀胶显影机
型 号:SC200-DE
原产地:
应 用:SC200-DE匀胶显影机是一种既可用于精密匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
产品概述:
---------------------------------------------------------------------
SC200-DE匀胶显影机是一种既可用于精密匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别400瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保匀胶和显影的稳定性和极高的可重复性。
性能参数:
---------------------------------------------------------------------
n 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
n 旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
n 转动速度:0-5,000rpm(更高速可选)
n 旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(空载)
n 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm
n 转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm
n 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec
n 支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圆晶)
n 标准配置两路喷液系统(显影液和去离子水)
产品特点:
---------------------------------------------------------------------
l 主机在SC200-SE匀胶机上升级,增加耐腐蚀高分子材料防溅式罩盖
l 全程序编辑功能,更方便的智能化操作,更好的显影/清洗效果
l 可实现最多独立四路喷液用于显影/清洗工作,或进行氮气吹干
l 控制器可实现程序自动控制喷液或进行手动操作,使用更加方便
l 显影系统可进行喷雾式、柱流式多种选择,视要求进行配置
l 提供客户定制化的显影系统配置和工装设计
l 高可靠性和重复性,高转速精度和更高转速可选
l 可添加去边胶和背胶清洗功能
咨询或索取详细产品资料,请联系ANALYSIS(苏州长显)工作人员。
全国统一客服:
TAG:超声波扫描显微镜
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